電子行業(yè)潔凈室除了要具有高效的凈化空氣特點(diǎn)和功能外，還需考慮以下幾點(diǎn)：
(1)氣流分布要求很均勻潔凈空調(diào)室為維持室內(nèi)高潔凈度，必須去除室內(nèi) 所產(chǎn)生的微塵粒子，.因此對(duì)氣流組織有嚴(yán)格的要求。對(duì)于ISO3-ISO6級(jí)（1~ 1000級(jí)）的潔凈室目前采用上頂棚送風(fēng)，下地板回風(fēng)的垂直單向流氣流組織。對(duì)于ISO7 ~ ISO8級(jí)（10000-100000級(jí)）的潔凈室常采用上頂棚送風(fēng)，下側(cè)回風(fēng)口的非單向流氣流組織。
(2)恒溫恒濕控制精度高由于電子產(chǎn)品的制造工藝對(duì)溫、濕度變化極為敏感，所以在潔凈室工藝區(qū)域的空氣參數(shù)須嚴(yán)格控制在極小的范圍內(nèi)。潔凈空調(diào)系統(tǒng)目前普遍采用了控制靈活、性能可靠的DDC自控系統(tǒng)，當(dāng)室內(nèi)空氣參數(shù)達(dá)不到設(shè)計(jì)要求時(shí)，可通過DDC控制系統(tǒng)來(lái)自動(dòng)調(diào)節(jié)各個(gè)閥門開大或關(guān)小。這樣就不至于使房間溫、濕度波動(dòng)太大，影響產(chǎn)品質(zhì)量和成品率。
(3)新風(fēng)量大，換氣次數(shù)高在電子產(chǎn)品制造過程中需使用有毒的化學(xué)品，會(huì)產(chǎn)生有毒的廢氣，必須排出室外。為保持潔凈室內(nèi)正壓和滿足衛(wèi)生條件，必須補(bǔ)充大量新風(fēng)。為了保持高潔凈度，潔凈室應(yīng)有較高的換氣次數(shù)，同時(shí)室內(nèi)的空氣流速不能太大，一般在0.4m/S以下。
(4)潔凈室空調(diào)冷負(fù)荷大但濕負(fù)荷很小，熱濕比值接近無(wú)限大電子行業(yè)的潔凈室一般都置于建筑物的中部，雖然通過圍護(hù)結(jié)構(gòu)的得熱量較小，但潔凈室內(nèi)工藝設(shè)備的發(fā)熱量相當(dāng)大，即全年需要排除室內(nèi)余熱量。潔凈室內(nèi)一般無(wú)散濕源，工作人員也是密封在防塵服中。為了減少靜電現(xiàn)象，空氣不能太干燥，這就要求空調(diào)系統(tǒng)處理室內(nèi)回風(fēng)時(shí)不能是減濕過程。
GMP車間凈化
